תחזוקה של מכונות עיבוד פס CNC צריכה להתמקד ברכיבים מכניים, ניקוי, מערכות הידראוליות/פנאומטיות וכיול CNC. יש לבדוק באופן קבוע רכיבים מכניים (מסילות הנחייה, ברגים, מיסבים) לבלאי. שימון מומלץ כל 500 שעות, ויש לשלוט בסובלנות הרפיון בתוך 0.02 מ"מ. יש לנקות את שולחן העבודה מדי יום; הצטברות שבבי מתכת יכולה להפחית את דיוק העיבוד ב-0.05-0.1 מ"מ. לחץ השמן של המערכת ההידראולית צריך להיות יציב ב-6-8MPa, וזיהום שמן צריך לעמוד בתקני ISO 4406 18/16; יש לשמור על לחץ אוויר של מערכת פנאומטית ב-0.4-0.6MPa. יש לכייל את מערכת ה-CNC מדי חודש, ודיוק המיקום צריך להישמר בטווח של ±0.01 מ"מ. על ידי ניטור בזמן אמת של רטט עיבוד (סף מומלץ<2.5m/s²) and temperature (60℃ alarm line), 80% of potential faults can be predicted.
